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大型液晶玻璃基板搬运机器人
负载:50KG
动态范围:1675mm
控制柜:DX100
用途:搬运、洁净室
适用于第6代(1500*1850mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬运。
*1:依据JIS B8432标准
*大化利用长距离上下屈伸、低pass line以及双手臂的特性,实现洁净室内多层液晶玻璃基板箱体内的高速搬运。
项目
规格
名称
MOTOMAN-MFL2200D
机型
YR-MFL050D-A20
构造
水平多关节形(4个自由度)
负载
50kg/手臂
重复定位精度*1
±0.2mm
动作范围
U轴(上下轴)
2650mm
S轴(回转轴)
-215°~+215°
L,R轴(前后轴)
-1675mm~+1675mm
动作时间*1
(*高速度运作时)
U轴(上下轴)
*大1330mm/s
S轴(回转轴)
3.14rad/s,180°/s
L,R轴(前后轴)
*大3250mm/s
容许力矩
L,R轴(前后轴)
250N·m
容许惯性力矩(CD2/4)
L,R轴(前后轴)
50kg·m2
标准喷涂色
孟塞尔munsell N9.5
本体质量
1020kg
洁净度
ISO4
安置环境
温度
+15~+25°C
湿度
20~80%RH(不结露)
振动
4.9m/s2以下
其他
·环境没有引火性及腐蚀性气体,液体
·远离水
·远离电子噪音源
·安装机器人水平面水平度在0.5mm以下
电源容量*3
3.5kVA
*2:洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下,来确保工件搬运面以上洁净度。
*3:根据用途、作业形式会有所不同。