CR系列洁净室用半导体硅片/LCD基板水平搬运机械手

CR系列泛半导体设备用机械手是韩国Cyborg Lab公司设计生产的产品，主要用于洁净室内大气环境下半导体硅片或LCD玻璃基板的水平搬运。韩国Cyborg Lab公司拥有15年以上的半导体用机械手产品设计与生产经验，产品质量稳定，性能可靠。CR系列硅片搬运机械手的主要特点如下：

 • 灵活可配置的模块化设计

 • 重复定位精度优于0.05mm

 • 机身设计紧凑，占地面积小，满足净化室设备的使用要求

 • 洁净度要求可达Class One

 • 可根据客户要求进行定制设计

CR系列产品主要用于半导体硅片搬运、液晶面板搬运、LED硅片搬运、MEMS硅片搬运等领域，目前沈阳芯源、北京七星、上海新阳等客户已经选用。