半导体晶片搬运用机器人 负载:- 动态范围:1215mm 控制柜:SR100 用途:搬运、半导体
大动作范围:EFEM模块移动距离可达4套应用设备,无需使用底架,极大地提高了搬运效率。 高速搬运:300枚/小时 适用:300mm-450mm晶片搬运
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