双腕玻璃基板搬运机器人 负载：95KG 动态范围：2300mm 控制柜：DX100 用途：搬运、洁净室
*1：动作节拍不保证带有基板时搬运速度。由于抓手的形状及抓手的安装部分的钢性产生共振时，会影响动作节拍，请重新设定。 *2：依据JIS B8432标准的动作重复定位精度。但有无工件时负载变动以及使用速度的差异、温度变化的影响不考虑在内。
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[VIP第7年] 指数:6
