大型液晶玻璃基板搬运机器人 负载:60KG 动态范围:2300mm 控制柜:DX100 用途:搬运、洁净室
*1:依据JIS B8432标准 *2:洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下,来确保工件搬运面以上洁净度。 *3:根据用途、作业形式会有所不同。
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