适用于晶元搬运SEMISTAR-M系列升级版,引领业界的高性能!供应EFEM模块全套设备。300枚/小时的高速搬运。
大动作范围:EFEM模块移动距离可达4套应用设备,无需使用底架,极大地提高了搬运效率
高速搬运:300枚/小时
适用:300mm-450mm晶片搬运
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